晶圓瑕疵檢測(cè)燈SL9300簡(jiǎn)介
晶圓瑕疵檢測(cè)燈SL9300系列是一款便攜式黃綠光/白光表面檢查燈,是繼SL8600和SL8500系列之后開發(fā)出的一款用于半導(dǎo)體表面瑕疵的檢查燈;配有60CM的鵝頸軟管和磁鐵底座,可隨意改變操作方向。晶圓瑕疵檢測(cè)燈SL9300直徑為63MM,高度116MM,采用旋轉(zhuǎn)或無(wú)極調(diào)光。晶圓瑕疵檢測(cè)燈SL9300的亮度能高達(dá)18萬(wàn)LX,能滿足客戶的基本外觀測(cè)試需求;根據(jù)需求可配不同的濾光片—藍(lán)光/綠光/黃綠光,是一款有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的表面瑕疵檢查燈。
晶圓瑕疵檢測(cè)燈SL9300參數(shù)
型號(hào):SL9300便攜桌面式檢查燈;晶圓顆粒缺陷檢查燈;Wafer表面檢查燈
光 源:20W 高亮度進(jìn)口LED加定制的光學(xué)鏡片; LED平均壽命是30000小時(shí)
照度:16.9萬(wàn)LX→距離30cm;? 10cm直徑的光圈(我們掌握了核心技術(shù),它們可滿足不同客戶的要求)
照射面積:? 10-16cm直徑的光圈 在40cm的距離(通過調(diào)焦距調(diào)光)
調(diào)光方式:?無(wú)極調(diào)光:從0% ~ 100%;消耗功率:20 W
電源:采用110-220V電源供電(交流供電),可以24小時(shí)持續(xù)無(wú)間斷工作。
平行光強(qiáng)的穩(wěn)定性: > 90 %
產(chǎn)品尺寸:138 x10 mm(圓底座),臂長(zhǎng):600mm,燈頭:63*116MM;重量:2.3KG(AC調(diào)光器除外)
晶圓瑕疵檢測(cè)燈SL9300技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | SL9300-W便攜式白光檢查燈 | SL9300-GY黃綠光便攜式檢查燈 | 備注 |
LED的數(shù)量和規(guī)格 | 1個(gè)進(jìn)口20 W 6000K ?LED 加定制的光學(xué)透鏡 | 可以按照客戶的要求定制 | |
3000K,6000K白光,525NM綠光,365NM 紫外;可以選擇其中一種波長(zhǎng); | |||
檢查燈的亮度(測(cè)試距離30cm) | ? 16.9萬(wàn)LX→距離30cm; | ? 16.8萬(wàn)LX→距離30cm; | |
照射面積(單位MM) | ? 10cm 在30cm的距離(也可以通過旋轉(zhuǎn)頭部,調(diào)節(jié)焦距調(diào)整照射面積的大?。?/td> | ||
開關(guān)方式 | 調(diào)光器開關(guān) | ||
使用壽命 | 30000小時(shí) | ||
電源 | 調(diào)光器(輸入110-240V,輸出12-24V,1 A)無(wú)極調(diào)光 | ||
尺寸和凈重 | 尺寸138 x10 mm(圓底座),臂長(zhǎng):600mm,燈頭:63*116MM;重量:2.3KG(AC調(diào)光器除外) | ||
可選配件 | 防護(hù)眼鏡,暗室 |
晶圓瑕疵檢測(cè)燈SL9300特點(diǎn)
1.1個(gè)大功率20瓦的LED,.真正冷光源,亮度達(dá)到18 萬(wàn)LX;照度相當(dāng)15瓦的汞燈;使用壽命高達(dá)3萬(wàn)個(gè)小時(shí);壽命是汞燈的10倍
2.產(chǎn)品的直徑只有63MM,高度116MM(可以旋轉(zhuǎn)無(wú)極調(diào)光),但是檢查燈的亮度能達(dá)到18萬(wàn)LX,能滿足客戶的基本外觀測(cè)試的需求;可以配不不同的濾光片—藍(lán)光/綠光/黃綠光,是一款有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的檢查燈
3.使用定制的光學(xué)透鏡和濾光片,檢查燈的均勻性能達(dá)到80%以上;
產(chǎn)品的光均勻性及光斑大小,經(jīng)檢測(cè)證實(shí)效果要優(yōu)于日、德同類產(chǎn)品。
4.發(fā)黃綠光和白光,人眼易感知且又不傷眼,可精確檢查到1um以下的刮痕或微粒子;
5. 合理的外觀設(shè)計(jì),無(wú)風(fēng)扇式散熱設(shè)計(jì)—機(jī)械散熱,能提供均勻且高亮度特殊波長(zhǎng)和色溫的檢查光源;
6:可選擇不同波段光源:
白光:刮傷以及對(duì)不同層次的鍍膜均勻或微污染有很好的效果。
綠光:微刮傷、粉塵異物、液晶玻璃,70%以上的表面不良都可以被檢出。尤其是表面的微刮傷。
黃光:微刻模具、半導(dǎo)體晶圓、藍(lán)寶石。對(duì)鍍膜檢查效果不錯(cuò)。