掩模板作為半導(dǎo)體晶圓光刻步驟中重要的工件，使用前必須檢測表面瑕疵情況，但檢測方形和圓形掩模板表面瑕疵是一樣的，深圳熒鴻都是采用懸浮法進行檢測。一般掩模板都是采用石英或蘇打玻璃制作，具有高透光性，進行表面瑕疵檢測比普通的難度大些。SL8500用于掩模板瑕疵檢測，如果檢測掩膜版表面刮痕可用白光，如果是異物或其他則需要選用黃綠復(fù)合光。更多關(guān)于晶圓相關(guān)瑕疵檢測，可咨詢0755-89233889！

掩模板表面瑕疵檢測步驟：
1-在檢測臺放置黑色背景板
2-將檢測燈燈頭調(diào)整距離檢測臺30cm，燈頭與檢測臺角度為垂直90度
3-接通電源，打開SL8500檢測燈并將亮度調(diào)到最大
4-將掩模板置于燈頭與檢測臺之間，掩模板底部與檢測臺距離為15cm, 掩模板與水平角度保持30-60度之間
5-檢測員不斷調(diào)整樣板與水平的角度直到找到最佳的檢測視角