選擇合適的檢測燈才能高效的檢測出晶圓片表面的瑕疵,深圳熒鴻專注于晶圓片瑕疵檢測,為您整理如下4點(diǎn)挑選晶圓片檢測燈的方向:
1、照度
通常10萬lux照度(30CM)的燈可以滿足大部分晶圓檢測需求。然而對于高端客戶,燈具需要至少具有30萬LUX 照度(30CM)。使用該燈,可以檢測到最小的缺陷。深圳熒鴻用于晶圓片瑕疵檢測的檢查燈在30cm處照度大多超過10萬lux ,甚至SL8600在30cm處的照度為30萬LUX,SL8900在30cm處的照度為40萬LUX,可以滿足不同檢測需求用戶使用。
2、照射面積
晶圓有不同的尺寸,如6 英寸、8 英寸甚至 10 英寸、12 英寸。由于足夠輕薄,檢測突出表面上的缺陷可能會更加困難。另外,大尺寸的樣品通常會要求光束面積大得多的檢測燈所以選擇晶圓檢測燈盡可能的照射面積要大。
深圳熒鴻晶圓檢測燈,在30cm處少社面積有? 10cm(SL9300),有? 8-16cm(SL8500),有?9-20cm(SL8900)等等,可滿足不同尺寸晶圓片的檢測需求。
3、光源
選擇人眼敏感的光源,一般會選擇綠光和黃綠復(fù)合光。深圳熒鴻晶圓瑕疵檢測燈有綠光和黃綠光,采用LED為光源,每個LED前面通過添加3-4個不同的光學(xué)透鏡或鏡片,通過不同的角度、高度光學(xué)透鏡和鏡片的組合,可以按照客戶的要求人為的制造出特殊的光源。深圳熒鴻晶圓片檢測燈可檢測出表面低至1um的瑕疵。
4、預(yù)算及定制
預(yù)算目標(biāo)往往在購買晶圓檢測燈時成為最后的決定權(quán),實(shí)現(xiàn)高的性價比是每個采購商的目標(biāo)。不過不同廠家的晶圓瑕疵檢測燈不一樣,誰都不能說自己是最好的。深圳熒鴻專注檢測燈十來年,可在原檢測燈外形基礎(chǔ)上,通過人為更改LED以及透鏡來實(shí)現(xiàn)不同用戶的檢測需求。