一片晶圓片表面分布數(shù)十萬單獨(dú)的晶片，在做成芯片之前，需要對晶圓片進(jìn)行相應(yīng)的缺陷檢查。深圳熒鴻檢查燈SL8900系列專用于晶圓片表面瑕疵缺陷檢查，可精確檢查1um瑕疵，以檢查晶圓片表面飛塵為例演示。更多詳情請咨詢：0755-89233889.

一、測量需求

晶圓片表面飛塵

二、測量步驟

1）準(zhǔn)備好晶圓片表面缺陷檢測燈SL8900，SL8804調(diào)整至合適的位置

2）戴好相應(yīng)的測試裝備（手套、眼鏡）

3）手拿晶圓片開始檢測，查看表面飛塵情況，并調(diào)試燈光直到觀察效果最明顯

4）做相應(yīng)的分類及記錄