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硅晶圓片表面缺陷檢查的重要性

硅晶圓片表面缺陷檢查的重要性

時(shí)間:2020-10-5 編輯:SunLonge

全球半導(dǎo)體市場(chǎng)中,95%以上的半導(dǎo)體器件和99%以上的集成電路(LSI)都是用高純晶圓片(優(yōu)質(zhì)的硅拋光片和外延片)制作的。

晶圓片上刻蝕出數(shù)以百萬(wàn)計(jì)的晶體管,這些晶體管比人的頭發(fā)要細(xì)小上百倍。半導(dǎo)體通過(guò)控制電流來(lái)管理數(shù)據(jù),形成各種文字、數(shù)字、聲音、圖象和色彩。它們被廣泛用于集成電路,并間接被地球上的每個(gè)人使用。這些應(yīng)用有些是日常應(yīng)用,如計(jì)算機(jī)、電信和電視,還有的應(yīng)用于先進(jìn)的微波傳送、激光轉(zhuǎn)換系統(tǒng)、醫(yī)療診斷和治療設(shè)備、防御系統(tǒng)和NASA航天飛機(jī)。

如果不對(duì)最開(kāi)始的硅晶圓片進(jìn)行缺陷檢查或者是缺陷沒(méi)有被檢查出來(lái),那后面應(yīng)用到硅晶圓片的產(chǎn)品就會(huì)有故障,小到影響日常使用大到影響工業(yè)/醫(yī)療/航天……高科技。

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