掩模版（光掩模板）在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用，因此在半導(dǎo)體晶圓制造材料中占有重要地位。檢測(cè)掩膜版表面瑕疵也是一項(xiàng)重要的作業(yè)，但由于石英掩膜版高透且薄，因此檢測(cè)成為一個(gè)難題。深圳熒鴻在表面檢測(cè)行業(yè)用于十幾年技術(shù)，瑕疵檢測(cè)燈SL8500可很好的檢測(cè)掩膜版表面的瑕疵。SL8500可用于檢測(cè)掩膜版瑕疵主要特點(diǎn)如下：

1)波長(zhǎng)和色溫。不同表面檢測(cè)應(yīng)用需要不同的波長(zhǎng)和色溫光源：對(duì)于劃痕和裂紋缺陷，我們通常使用6000K的白光光源。如果有顆粒或灰塵等缺陷，我們將使用綠光或黃綠色光源。采用靈敏光源，缺陷在檢測(cè)中更加明顯。而且人睛也不會(huì)受到傷害。SL8500配有20W 6000K白光LED光源。配合定制濾光片，SL8500可執(zhí)行2個(gè)波長(zhǎng)，6000K白光或500-600NM綠黃復(fù)合光源。這使得SL8500可以覆蓋更多的應(yīng)用需求。

2)光照度。照度是表面檢測(cè)的重要參數(shù)。普通燈的照度在幾百甚至幾千LX左右，而晶圓表面檢測(cè)的照度需要達(dá)到1萬(wàn)級(jí)別勒LX。所以普通檢測(cè)燈不能不能檢測(cè)出小的缺陷，無(wú)法滿足高端表面檢測(cè)應(yīng)用的需求。SL8500配有1pcs 20W LED光源，配合我們定制的光學(xué)鏡頭，最終照度可達(dá)150000LX。

3)光線均勻性。對(duì)于光掩膜檢測(cè)，光均勻性是要考慮的關(guān)鍵因素。由于光掩膜的高透明度，在檢測(cè)過(guò)程中光源會(huì)穿過(guò)樣品本身。那么光均勻度越高，燈的性能就越好。普通燈的均勻度可達(dá)50%左右。對(duì)于晶圓檢測(cè)應(yīng)用，均勻度需要達(dá)到80%檢查才可以完成。SL8500內(nèi)置多個(gè)光學(xué)鏡頭，光均勻度可達(dá)90%。這使得SL8500在實(shí)際檢測(cè)中可以檢測(cè)到最小1um尺寸的缺陷。

SL8500現(xiàn)已被眾多光掩模制造商在該領(lǐng)域應(yīng)用，檢測(cè)效果好。想了解更多關(guān)于Sunlonge SL8500檢測(cè)燈的信息，請(qǐng)聯(lián)系0755-89233889，我們總會(huì)為您提供可行的解決方案。