由于掩膜版的高透光和高透亮特性，因此檢測其表面瑕疵難度稍大。下面深圳熒鴻以表面瑕疵檢查燈SL8500為例講解掩膜版表面瑕疵檢測操作（視頻版本可查看“掩膜版表面瑕疵檢測講解”）。如果檢測掩膜版表面刮痕，可直接選擇6000K白光版，如果需要檢測表面異物，SL8500則選擇500-600nm黃綠復(fù)合光版。以下以瑕疵檢測燈SL8500白光版為例，操作如下：

1–調(diào)整表面瑕疵檢測燈SL8500位置，燈頭與臺面距離為30cm，角度為垂直90度
2–在臺面放一塊黑色的背景板
3–打開表面瑕疵檢測燈SL8500并將亮度調(diào)到滿值
4–手拿掩膜版并將其放在底端離臺面15cm處，與水平角度保持在30-60度之間
5–不斷地調(diào)整角度位置，直到找到合適的角度