深圳熒鴻瑕疵檢測(cè)燈在半導(dǎo)體wafer晶圓制作過程中在前段、中段和后段都被用于檢測(cè)表面瑕疵并判斷其合格情況。黃色和綠色的表面瑕疵檢測(cè)燈被選擇的多些,不過白光有時(shí)也會(huì)被選擇。前段、中段和后段瑕疵檢測(cè)如下:
前段 原材料廠wafer晶圓片制作完成后要在出廠前對(duì)其表面進(jìn)行瑕疵檢測(cè),沒有瑕疵才能成為合格品進(jìn)行出廠;
中段 廠家購入原材料wafer晶圓片進(jìn)行光刻,光刻前需要對(duì)晶圓片進(jìn)行表面瑕疵檢測(cè),確定無瑕疵后進(jìn)行光刻、蝕刻等。光刻、蝕刻后需對(duì)wafer晶圓片表面線路進(jìn)行檢查,線路沒有瑕疵才能出廠
后端 wafer晶圓片刻入電路后,對(duì)其表面進(jìn)行瑕疵檢測(cè),根據(jù)表面瑕疵情況(檢查電路外的情況),對(duì)其進(jìn)行切割。
深圳熒鴻用于半導(dǎo)體的表面瑕疵檢測(cè)燈不含有紫外光和藍(lán)光,對(duì)晶圓制作無影響。我們的表面瑕疵燈有手持式和桌面式,在一定的條件下,光照度相比其他表面檢查燈高出20%,是專業(yè)的半導(dǎo)體瑕疵檢測(cè)燈,可精確檢測(cè)1um的瑕疵。更多關(guān)于半導(dǎo)體表面瑕疵檢測(cè)燈,請(qǐng)咨詢:0755-89233889或18923477268(同微信)。