晶圓表面瑕疵檢測(cè)燈一般都會(huì)選擇黃光，綠光或是黃綠復(fù)合光，這是因?yàn)橐韵?個(gè)原因：

1/黃光和綠光本身的特點(diǎn)

黃光和綠光的波長(zhǎng)范圍分別為597~577nm、577~492nm，人眼在這兩種光的環(huán)境下較高敏感度而且光線柔和不傷眼睛，特別是綠光表面檢查燈。深圳熒鴻表面瑕疵檢測(cè)燈可精確檢查到1um左右的微塵、刮痕燈瑕疵，在30cm處的光照度可高達(dá)30萬LX，有多種樣式可供選擇，且支持根據(jù)用戶要求定制。

2/晶圓制作過程，光刻和蝕刻中有紫外線存在，所以要求表面瑕疵燈要求不能含有紫外線和藍(lán)光部分

晶圓片表面檢測(cè)燈SL8900&SL8600