半導(dǎo)體晶圓瑕疵檢查效果和瑕疵檢查燈的強度和以及光均勻性有關(guān)：檢測半導(dǎo)體晶圓瑕疵要求檢查燈的亮度需要達到20萬LX以上，均勻性需要達到85%以上，需要使用不同的光學(xué)系統(tǒng)來定制和制造特殊的波長和色溫；我們深圳熒鴻科技使半導(dǎo)體晶圓瑕疵檢查燈用多個光學(xué)透鏡的技術(shù)，30W的LED經(jīng)過幾次光學(xué)轉(zhuǎn)換，瑕疵檢查燈的強度最高能達到40萬LX(測試距離30CM)，在業(yè)內(nèi)屬于領(lǐng)先的水平，能檢測出um級別的瑕疵。