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晶圓瑕疵自動檢測機簡介
A1000為深圳熒鴻半導(dǎo)體外觀瑕疵自動檢測機，可自動化檢測晶圓表面的微小瑕疵。每臺晶圓瑕疵自動檢測機配一臺顯示器，相關(guān)信息可直觀明了查看。更多詳細情況可咨詢0755-89233889！
晶圓瑕疵自動檢測機技術(shù)參數(shù)
| 1-1外圍部件 | ||
| 1 | 機架 | 利用地腳杯調(diào)整機臺高度 |
| 臺板面到地面距離：1085±50mm | ||
| 2 | 上罩 | 采用鈑金焊接而成，表面烤漆 |
| 3 | 內(nèi)部 | ?1、裝有離子棒，消除靜電 2、各滑軌及運動軸承具備防油裝置 |
| 4 | 顯示器 | 19.5英寸顯示器，分辨率1920*1080 |
| 5 | 警示燈 | 三色燈(帶蜂鳴器) |
| 6 | 門感應(yīng) | 門安全感應(yīng)sensor |
| 7 | 急停 | 1個急停按鈕 |
| 8 | 無塵等級 | Class 1000 |
| 9 | 電 | 電壓：單相220V;電流：32A;功率：6KW;數(shù)量：1路； |
| 10 | CDA | CDA氣管管徑：10mm;數(shù)量：2根；壓力：6kg/cm2;流量：300LPM; 連接方式：快插 |
| 11 | PV | PV氣管管徑：10mm;數(shù)量，1根；壓力： -80kpa;流量：300LPM; 連接方式：快插 |
| 12 | UPS | 具備UPS防斷電裝置，保護機臺 |
| 13 | 設(shè)備接地 | 設(shè)備接地，保證標準AC接地<1Ω,輔助接地<4Ω |
粵公網(wǎng)安備 44030702002577號