半導(dǎo)體襯底，掩模板，外延片瑕疵測試種外延片的瑕疵檢測難度最小，因?yàn)榘雽?dǎo)體外延片表面為黑色，而襯底和掩模板一般為半透明，透明材質(zhì)的檢測難度大于有色材質(zhì)的難度。深圳熒鴻表面瑕疵檢測燈SL8500可檢測襯底，掩模板，外延片瑕疵，不過檢測的方法略有不同。

瑕疵檢測燈SL8500采用一顆20W進(jìn)口LED并配上深圳熒鴻研發(fā)的光學(xué)鏡片，使其照度可達(dá)15萬LX，可檢測大多數(shù)的微小瑕疵（1um）。SL8500有白光和黃綠光兩種光源，樣式為桌面式。關(guān)于瑕疵檢測燈SL8500檢測襯底瑕疵和瑕疵檢測燈SL8500掩模板瑕疵可點(diǎn)擊相應(yīng)圖片進(jìn)入，更多關(guān)于半導(dǎo)體瑕疵檢測可咨詢0755-89233889。