晶圓在多道生產(chǎn)程序中,都需要對其進行瑕疵檢測。否則在生產(chǎn)過程中可能產(chǎn)生的劃痕,旋轉缺陷、曝光問題、顆粒污染、熱點、晶圓邊緣缺陷等最終芯片性能的各種其他缺陷。晶圓瑕疵檢測主要有采用專業(yè)晶圓瑕疵檢測燈進行人工目檢以及晶圓瑕疵自動化檢測設備視覺檢測,兩者的優(yōu)缺點主要如下:
人工目視檢測 | 自動化視覺檢測 | |
檢測原理 | 利用高亮度高精度檢測燈,發(fā)現(xiàn)晶圓微小瑕疵,為宏觀檢測 | 利用光源檢測瑕疵,再用檢測的相機放大檢測瑕疵,來檢測微小瑕疵,為微觀檢測 |
光源 | 專業(yè)的高精度高亮度光源 | 光源要求沒那么高 |
檢測效率 | 慢 | 快,可批量性 |
檢測應用階段 | 前端的制程,目視抽檢,要求高的測試 | 中端和后段 |
檢測成本 | 檢測燈成本低 | 設備成本高 |
深圳熒鴻專注于高亮度人工目視晶圓瑕疵檢測燈研發(fā)和生產(chǎn),有幾萬到十幾萬到幾十萬LX亮度可供選擇,也可根據(jù)用戶要求定制。晶圓瑕疵檢測燈也有手電筒式、手持式、桌面式等可供選擇,更多關于晶圓瑕疵檢測燈可咨詢0755-89233889或189 2347 7268!