深圳熒鴻從2006到現(xiàn)在一直致力于為客戶研發(fā)更適合的表面瑕疵檢查燈，最近根據(jù)晶圓晶片客戶要求開(kāi)發(fā)新款應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓晶片表面瑕疵檢查燈SL8804-GYS和SL8904-H，均由4顆LED制作，可檢查出半導(dǎo)體晶圓表面1um瑕疵，瑕疵包含冗余物（如微小顆粒、灰塵、晶圓加工前一個(gè)工序的殘留物）和機(jī)械損傷。

SL8804-GYSL采用人眼最敏感510-590NM之間波長(zhǎng)光，為桌面式檢查燈，可精確檢查到1um以下的刮痕或微粒子，并且具有綠光和黃光2種顏色的復(fù)合光，幾乎可檢測(cè)出所有塵埃，大大降低晶圓晶片不良率。使用壽命為2萬(wàn)小時(shí)以上。光源強(qiáng)度可達(dá)90000LX，最小可以檢測(cè)1μ的表面臟污，比傳統(tǒng)的檢查燈，效用增強(qiáng)10倍。

SL8904-H是一款便攜手持式wafer晶片晶圓表面瑕疵檢查燈，高強(qiáng)度紫外線，符合ASTM E 3022等各種國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，配有三腳架，可解放雙手方便各種測(cè)試; 高強(qiáng)度紫外線可細(xì)微檢測(cè)出晶圓表面各種瑕疵，紫外燈的光束輪廓非常均勻，沒(méi)有任何足跡顯示LED的陰影，黑點(diǎn)或其他干擾缺陷。

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