檢查燈SL8500主要有燈頭、支架、底座以及調(diào)光器這4部分組成,并使用了傳統(tǒng)桌面式設(shè)計(jì),在檢測(cè)過程中可以很好的解放雙手。SL8500采用一顆20W進(jìn)口LED,LED前增加了深圳熒鴻定制的光學(xué)透鏡模組,經(jīng)過光學(xué)透鏡模組的多次轉(zhuǎn)換,可以得到特殊波長(zhǎng)和色溫的檢測(cè)光源。
SL8500采用旋轉(zhuǎn)燈頭和調(diào)光器兩種調(diào)光模式,可根據(jù)需求調(diào)整相應(yīng)的范圍。SL8500常用的主要有白光,黃綠光2種,可以通過增加深圳熒鴻定制濾光片得到綠光燈和藍(lán)光燈,另外也可根據(jù)用戶需求,定制不同波長(zhǎng)的檢測(cè)燈。
SL8500-W白光燈采用一顆20W 6000K的白光LED光源,主要用于晶圓表面瑕疵檢測(cè),尤其適合刮花和微刮傷的檢測(cè)。SL8500-W在30cm的光照度可達(dá)150000LX,且光均勻性可達(dá)90%,可精確檢測(cè)出晶圓表面1um的微小瑕疵。
SL8500-GY黃綠光燈采用的依然是一顆20W 6000K的白光LED光源,通過添加定制濾光片,最終輸出500-600nm波長(zhǎng)的黃綠復(fù)合光,主要用于面板以及晶圓表面瑕疵檢測(cè),尤其適合粉塵等表面異物檢測(cè)。SL8500GY在30cm處的光照度可以高達(dá)150000LX,且光均勻性高達(dá)95%,可精確檢測(cè)出晶圓表面1um的微小瑕疵。
SL8500-B藍(lán)光燈采用的是一顆20W 455nm的藍(lán)光LED光源,通過光學(xué)透鏡模組轉(zhuǎn)換,SL8500藍(lán)光燈光照度相當(dāng)于傳統(tǒng)汞燈150W的光照度,可應(yīng)用于熒光檢漏和熒光蛋白激發(fā)。